微纳加工中的精密工件台技术
随着信息时代的到来,微细加工技术的特征尺寸变得越来越细,加工尺寸进入亚微米以至纳米级,先进的制造科学与技术显得越来越重要.当今的先进制造技术是集光学、机械学、电子学、计算机控制技术等于一体的综合技术,微、纳加工技术的发展,尤其是各种光刻技术的发展离不开精密工件台技术的发展和进步.本文介绍了精密工件台技术在国内外的研究情况,系统地阐明了精密工件台中的关键技术—精密测量技术、直线驱动技术、直线导向技术、微位移技术、控制技术的工作原理、结构、特点;在此基础上,根据运动特点对当前各种各样的工件台结构形式进行了分类和分析,并对电子束曝光机中的精密工件台作了精度分析,总结了几项评价工件台主要性能指标的方法,给出了利用电子曝光机中偏转系统实现工件台精度补偿方法(LBC),指出了为了获得高精度必须控制温度和振动引起的变形;阐述了精密工件台在光刻设备、精密测量、机械加工、生物技术、纳米表面形貌测量和纳米加工中的具体应用.
激光干涉仪;精密测量;精密定位;微位移;光刻技术
中国科学院电工研究所
博士后
电气工程
顾文琪;张福安
2004
中文
TN205
88
2005-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）