X-Y精密工作台电控系统的研制
该文论迷了精密工作台电控系统的结构及工作原理,它主要应用于准分子激光光刻技术中.光栅位移检测系统和闭环伺服控制系统,是由微机来控制的,它们可以通讯,以交换数据或是传递控制信息,实现高精度的定位.各部分又可以独立运作,以完成自己的特定功能.文中讨论了应用CPLD器件来简化电路的设计.微机和下位机的通讯采用RS232串行接口,适用于远距离通讯.其电路设计简单而且功耗低.上位机系统软件采用LABVIEW图形化编程环境,通过交互式图形化前面板来控制系统,并显示结果.
光栅位移检测;RS232串行通讯;CPLD设计
长春理工大学
硕士
测试计量技术及仪器
王小曼
2002
中文
TP274.5
66
2004-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）