关键词：离子溅射;镀膜机;计算机控制

授予单位：长春理工大学

授予学位：硕士

学科专业：仪器仪表工程

导师姓名：王小曼

学位年度：2002

语种：中文

分类号：TP273

页数：64

在线出版日期：2004-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）