高频等离子沉积工艺控制系统优化研究
当今社会信息技术的快速发展，促进了我国光纤及相关产业的发展，同时对光纤制造所需的主要原材料——石英玻璃材料的性能指标和生产效率提出了更高要求，但长期以来受工艺过程复杂和现场装备智能化程度低等诸多因素的影响，其工艺生产控制系统主要依靠操作人员的经验调节，采用半自动甚至手动方式运行，该控制方式降低了石英玻璃的性能指标和生产效率。 本文在分析了高频等离子沉积工艺控制系统现状后，利用工业以太网控制技术对工艺控制系统进行了优化设计;并根据新系统的要求对控制系统所涉及的硬件设备进行升级、选型和组网连接调试;对系统所需的设备控制程序、人机交互程序及上位机程序进行编译和调试;同时初步建立了沉积工艺数学模型，开展工艺控制策略的研究。 控制系统优化改造完成后，实现了全工艺在线精确检测;控制系统网络化、数字化通讯;控制器与上位机的远程通信，远端操作和工艺参数的数据收集、记录存储功能。经现场运行验证，系统的控制精度和运行稳定性大大提高，提升了高频等离子沉积工艺自动化水平，进而提升了石英玻璃性能和生产效率。
石英玻璃;高频等离子沉积;控制系统;优化设计
北京化工大学
硕士
控制工程
陈娟;吴兆时
2016
中文
TQ171.731
86
2017-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）