可见光波段角度不敏感滤光片的研究
角度不敏感颜色滤光片在显示、大角度探测、无油墨印刷等领域具有重要的应用前景，其中金属-介质-金属型角度不敏感滤光片具有透过率高，稳定性好，易于制备等优点，受到了广泛的研究与关注。 本文通过光在金属-介质界面的色散分析和相移理论分析，得出了金属-介质-金属型角度不敏感滤光片的设计思路，但受薄膜材料光学参数限制，金属-介质-金属型角度不敏感滤光片仅被应用于特定的中心波长。为了打破介质材料光学参数的限制，提出了以折射率可调的富硅氧化硅作为中间层介质材料以满足光学参数匹配要求的设计方案，然后通过对反应磁控溅射技术的研究和制备参数的优化，制备了一系列折射率不同的SiOx单层薄膜和厚度不同的单层金属银膜。最终利用以上材料，通过软件仿真，设计并制备了基于金属-介质-金属结构的透射式与反射式角度不敏感滤光片，并对滤光片的透反射特性，角度不敏感特性进行了测试分析，实现了入射光由0°变化至60°而透射峰与反射吸收峰的位置基本保持不变，透射式滤光片透过率在各谐振波段均达到32％以上，反射式滤光片反射率在非吸收波段达到60％以上。
滤光片;氧化硅薄膜;反应磁控溅射;光学特性;角度不敏感性
浙江大学
硕士
测试计量技术及仪器
沈伟东
2016
中文
TB342
64
2017-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）