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目录
第1章绪论
1．1 课题研究背景和意义
1．2 倾角传感器分类
1．2．1 “固体摆”式倾角传感器
1．2．2 “液体摆”式倾角传感器
1．2．3 “气体摆’’式倾角传感器
1．3 国内外MEMS倾角传感器的发展现状及趋势
1．4 论文主要研究内容
第2章 MEMS气流式倾角敏感元件敏感机理的计算机仿真
2．1 引言
2．2 计算流体动力学(CFD)概述及其应用
2．3 气流式微机械倾角敏感元件的结构原理
2．4 倾角敏感元件有限元模型的建立
2．5 倾角敏感元件密闭腔体内自然对流的数值分析模型
2．6．计算结果
2．7 本章小结
第3章 MEMS气流式倾角敏感芯片的制作工艺研究
3．1 引言
3．2 倾角敏感芯片的结构版图设计
3．3 倾角敏感芯片的制造工艺流程图
3．3．1 衬底材料的选择
3．3．2 硅片清洗工艺
3．3．3 硅片氧化工艺
3．3．4 光刻工艺
3．3．5 磁控溅射工艺
3．3．6 光刻胶的剥离(Lift-off)
3．3．7 用干法刻蚀形成热敏丝和加热丝悬梁
3．4 倾角敏感芯片的封装
3．5 本章小结
第4章硬件电路系统的设计
4．1 引言
4．2 硬件系统功能框图
4．2．1 电源模块设计
4．2．2 输入调理电路
4．3 主控系统电路
4．3．1 数据采集电路
4．3．2 信号处理电路
4．4 硬件电路系统PCB设计和样机组装
4．5 本章小结
第5章 MEMS气流式倾角传感系统的信号补偿研究
5．1 引言
5．2 MEMS气流式倾角传感器信号处理原理框图
5．3 MEMS气流式倾角传感器的零位电压-温度补偿
5．4 MEMS气流式倾角传感器的灵敏度-温度补偿
5．5 倾角传感器的线性度补偿
5．6 本章小结
第6章传感器的基本性能测试
6．1 引言
6．2 常温电性能测试
6．2．1 测量范围
6．2．2 零位电压的检测
6．2．3 零点漂移
6．2．4 非线性与灵敏度
6．2．5 分辨率
6．2．6 响应时间
6．3 本章小结
第7章工作总结与展望
参考文献
附录
个人简历、在读期间发表学术论文与研究成果
致谢