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目录
第一章绪论
1．1 研究背景和意义
1．1．1 RF／微波MEMS的研究进展
1．1．2 微波接收前端电路的研究现状
1．1．3 研究的意义
1．2 MEMS微波功率传感器
1．2．1 微波功率传感器的分类
1．2．2 MEMS微波功率传感器的研究现状
1．2．3 MEMS微波功率传感器的比较
1．3 MEMS微波电感和无源LC滤波器
1．3．1 MEMS微波电感的研究现状
1．3．2 MEMS无源滤波器的研究现状
1．3．3 MEMS微波电感和无源滤波器的比较
1．4 本论文的主要研究工作
1．4．1 目前存在的问题
1．4．2 主要研究工作
1．4．3 主要创新点
1．5 本章小结
第二章 MEMS微波功率传感器与滤波器的设计理论和实现方法
2．1 共面波导设计的理论和方法
2．2 模型的建立方法
2．2．1 微波集总模型
2．2．2 微波-热-电转换模型
2．3 GaAs MMIC兼容性工艺的制各方法
2．4 微波、热电势和力性能的测试方法
2．5 本章小结
第三章终端式MEMS微波功率传感器的研究
3．1 间接加热型热电微波功率传感器的设计
3．1．1 结构和原理
3．1．2 微波性能的仿真
3．1．3 热性能的仿真
3．2 自加热型热电微波功率传感器的设计
3．2．1 结构和原理
3．2．2 微波性能的设计
3．2．3 热性能的设计
3．3 三通道间接加热型热电功率传感器的设计
3．3．1 结构和原理
3．3．2 微波和热性能的设计
3．4 终端式MEMS微波功率传感器的制各
3．4．1 材料的选择
3．4．2 工艺流程
3．5 终端式MEMS微波功率传感器的测试
3．5．1 间接加热型微波功率传感器的测试
3．5．2 自加热型微波功率传感器的测试
3．5．3 三通道间接加热型微波功率传感器的测试
3．6 本章小结
第四章在线电容耦合式MEMS微波功率传感器的研究
4．1 在线电容耦合式微波功率传感器的优化研究
4．1．1 基本型和改进型结构的工作原理
4．1．2 改进型结构的仿真优化
4．1．3 改进型结构的实验测试
4．2 在线电容耦合式微波功率传感器的工艺研究
4．2．1 工艺流程
4．2．2 工艺分析和讨论
4．3 在线电容耦合式微波功率传感器的模型研究
4．3．1 考虑损耗和相移的微波集总模型的建立
4．3．2 MEMS膜对微波信号幅度和相位的影响
4．3．3 实验验证和误差讨论
4．4 在线电容耦合式微波功率传感器的封装研究
4．4．1 基于过渡微带线的背面封装设计
4．4．2 封装后的性能测试和温湿度实验
4．5 本章小结
第五章在线定向耦合式MEMS毫米波功率传感器的研究
5．1 在线定向耦合式MEMS毫米波功率传感器的设计
5．1．1 基本结构和工作原理
5．1．2 基于MEMS技术CPW定向耦合器的设计
5．1．3 在线定向耦合式MEMS功率传感器的仿真
5．2 在线定向耦合式MEMS毫米波功率传感器的制备
5．2．1 工艺流程
5．2．2 版图设计
5．3 在线定向耦合式MEMS毫米波功率传感器的测试
5．3．1 毫米波性能的测试
5．3．2 电容式传感器的灵敏度测试
5．3．3 热电式传感器的灵敏度测试
5．4 本章小结
第六章 MEMS微波平面电感与无源带通滤波器的研究
6．1 MEMS微波平面螺旋电感的设计
6．1．1 电感的等效电路模型和参数萃取
6．1．2 支柱型和接地屏蔽型电感的设计
6．1．3 MEMS微波平面螺旋电感的仿真
6．2 片上微波MIM电容的设计和仿真
6．3 MEMS无源LC带通滤波器的设计
6．3．1 π型LC带通拓扑结构和原理
6．3．2 无耗微波集总模型的建立和ADS验证
6．3．3 各元件参数对带通性能的影响
6．3．4 有耗微波集总模型的建立和HFSS验证
6．4 MEMS微波平面螺旋电感与无源LC带通滤波器的制备
6．4．1 工艺流程
6．4．2 支柱和接地屏蔽图案的制作
6．5 MEMS微波平面螺旋电感与无源LC带通滤波器的测试
6．5．1 基本型和改进型电感的测试和比较
6．5．2 基本型和改进型带通滤波器的测试和比较
6．6 本章小结
第七章总结与展望
7．1 本论文研究工作的总结
7．2 后续研究工作的展望
致谢
参考文献
作者及其成果简介