基于印刷电子工艺的声表面波滤波器的研究
声表面波(SAW)器件具有结构简单、应用范围广等特点，而其中的SAW滤波器(SAWF)由于具有良好的滤波性能，在电子信息领域中得到了广泛的应用。目前SAW器件多采用集成电路工艺制作，虽然能够得到线条精细的电路，但其生产过程中涉及的工艺流程复杂且设备造价昂贵，因此如何实现大规模低成本地生产SAWF具有重大的现实意义。本文创新性地将印刷电子(PE)技术应用于SAWF的制备，既简化了操作流程，又大幅降低了设备成本，同时生产过程不会产生废水废气，从根本上解决了微电子工艺存在的问题。 在将PE技术用于SAWF制备的过程中，除却需要在理论上证明其可行性，同时还需对其进行进一步改善。本文从SAWF的相关原理入手，研究了其主要构成——叉指换能器(IDT)的结构和特性。文中依据实验室内PE设备可实现的线条精度对SAWF进行设计，并进行了理论计算，然后分别通过仿真和实验来验证该新方法的可行性，并总结可改善的方面。期间所获取的数据同时也能够有效服务于之后基于PE工艺进行大规模SAW器件的生产。 本文研究内容如下: 首先，本文在充分调研SAW技术和PE技术的国内外研究现状的基础上，提出将将PE工艺用于SAW器件的制备。 其次，本文立足于SAWF的基本理论，结合PE设备的加工精度，设计出适于PE技术的SAWF的版图，并选择适当的基材，进行仿真研究。 最后，本文对PE工艺所制成的SAWF进行实验测量，并与仿真数据进行对比，以验证本文所提出工艺的可行性。并通过对比仿真和实验测量的结果，总结出影响实验结果的可能因素，为之后的研究打下基础。 本文的主要创新点在于: 1.将PE工艺创新性地应用于SAW器件的制作。由于该方法在理论上还存在大量的研究空白，因此本文的研究具有较重大的理论意义和研究价值。 2.文中提出的制备方法与传统微电子工艺相比，工艺流程简单、设备和生产成本低廉、不产生废液、废气等有害物质，且适于大规模生产，具有良好的应用前景和经济价值。
声表面波;声表面波滤波器;印刷电子;叉指换能器;集成电路工艺
天津理工大学
硕士
微电子学与固体电子学
滕建辅
2014
中文
TN65;TN41
58
2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）