基于金属粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构技术研究
硅多孔微结构是当今光伏电池的研究热点，而金属粒子催化腐蚀法在目前被认为是最有效简单的制备硅多孔微结构的方法，在从太阳能转换，热功能转换，储能，生化传感和仿生超疏水等领域已经证明金属粒子催化腐蚀法制备的硅多孔微结构的应用潜力。近年来对金属粒子催化腐蚀法的研究也越来越多，人们希望通过该方法制备的硅多孔微结构的形貌可控且规则有序。 本文主要的研究内容是利用银粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构，这种制备方法简单易行，具有良好的可操作性。通过改变第一步反应中镀银的时间，可以改变所沉积Ag粒子的密度和分布状态，最大表面覆盖度可达62％;而调整第二步反应中反应时间和氧化剂浓度，可以控制硅多孔微结构的生长情况，通过实验制备得到反应时间为5min，H2O2浓度为0.3mol/L下的硅多孔微结构表面形貌最好，孔洞直径在50nm左右。同时基于对金属粒子催化腐蚀法和硅多孔微结构的形成的理解提出了对腐蚀溶液选择的一些见解。
硅多孔微结构;表面形貌;双氧水;金属粒子催化腐蚀法;光伏电池
长春理工大学
硕士
微电子学与固体电子学
端木庆铎
2014
中文
TM914.4
55
2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）