激光干涉刻蚀太阳能电池减反射微结构的研究
针对目前太阳能电池的光电转换效率低下，对入射光不能进行有效的吸收，本文采用了激光干涉的方法在单晶硅表面进行刻蚀制造微结构，来达到减少入射光的损失，增加光的吸收。 本文使用的是四光束激光干涉，通过四束激光在特定区域干涉，干涉区域内的场强重新分布，形成周期性的光强分布。在单晶硅片上刻蚀出周期性的微结构，并用微腔理论对其减反射进行分析。 制备出的微结构周期为14.2μm，和未制备微结构的硅片相比，反射率有大幅的降低，在400nm附近反射率达到最低为3.1％。和太阳能电池相比，在300nm～570nm和1030nm～1100nm波段，经过刻蚀的硅片减反射效果优于太阳能电池。该方法可以用于制备太阳能电池的绒面结构。
微结构;减反射;激光干涉;太阳能电池;光电转换效率
长春理工大学
硕士
光学
赵振明
2013
中文
TM914.4
52
2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）