3-RRR并联微动工作台精度保证技术研究
近年来，由于平面3-RRR并联微动工作台具有刚度大、承载能力强、误差小、精度高等一系列优点，人们对其的研究日益增加。本文结合一种平面3-RRR并联工作台，在前人完成了理论分析、工作台研制以及结构优化设计等工作后继续对微动工作台的运动学、系统误差分析和控制策略等方面进行了研究。
论文首先提出了并联微动台伪刚体模型位姿反解、正解的方法，并在此基础上进行雅可比矩阵的计算，揭示工作台的运动性能。通过静力学进一步分析机构的静刚度；分析机构的动力学特性，为后续的运动控制和机构优化做准备。
随后建立微动工作台的误差模型，并对结构误差对工作台的影响进行了分析，对误差造成的影响给出了评价；还利用压电陶瓷的迟滞、蠕变等特性的研究成果，对驱动系统引起的误差进行分析。
最后提出并建立实验系统控制策略，利用Matlab对微动工作台进行运动学和控制仿真的实验，并依此实现了对工作台的简单控制。
并联微动工作台;运动性能分析;误差模型;工作台精度
合肥工业大学
硕士
测试计量技术及仪器
胡鹏浩
2009
中文
TH871
54
2009-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）