MEMS微针制备技术及其工艺研究
微针作为一种新型MEMS器件，在生物医学领域具有广泛的应用需求。从制备工艺来划分，微针可分为异平面微针与同平面微针。异平面微针可以加工成阵列结构，因而在微针经皮给药应用时药物可以在皮肤上大面积分布，具有较强的给药能力。异平面微针属于特殊的三维微结构，传统平面微加工工艺不能满足其结构要求。本论文从国内外的微针制备的研究现状分析，从现有微针加工过程中存在的不足出发，在对背面曝光和倾斜旋转曝光的理论研究的基础之上，开展相应的实验研究，期望在对两种方法深入研究的基础之上，能够开发简便易行的微针制备技术。通过改进实验室现有设备，实现SU8胶的倾斜旋转曝光，并以SU8光刻胶结构为模具通过图形转移制备了PDMS异平面圆锥形微针阵列，以此工艺为基础进一步尝试Ni异平面圆锥形实心微针阵列和环氧树脂异平面空心微针的制备。
背面曝光;倾斜旋转曝光;异平面空心微针
上海交通大学
硕士
微电子学与固体电子学
赵小林
2010
中文
TP211.4
2014-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）