三坐标测量机空间误差的高精度测量与分离技术研究
三坐标测量机广泛应用于生产制造和检测计量中,对其精度要求也越来越高,因此对测量机的误差检测就显得尤为重要。坐标测量机的误差源纷繁复杂,当前主要研究的是其几何误差,课题中研究了一种采用二维激光干涉仪和四象限光电探测器相结合的测量方法,对三坐标测量机的21项几何误差进行了准确、简便、快速的测量,摆脱了线位移法测量直线过多且包含多条对角线测量的弊端,同时也解决了一维球列和球板不方便检测的大型测量机的误差检测问题。测量中在坐标测量机测量空间内任意选择一个测量子空间OXYZ,用二维激光干涉仪在XOY,XOZ和YOZ平面内共测量9条平行于坐标轴方向的直线,同时借助于四象限光电探测器测量直线度运动误差,得到包括定位误差、直线度运动误差、角运动误差和垂直度误差等全部21项几何误差,然后通过测量机的准刚体数学模型即可计算出整个测量空间内各点的测量误差。同时,在LabVIEW平台上编写仿真测试软件,模拟实际的测量过程,并对其数据进行分析和处理,验证测量方法的可行性。通过对坐标测量机测量误差的高精度检测,为其进行误差补偿提供了有力依据,进一步提高了测量机的加工和测量精度,更有效的发挥其在现代工业生产和精密测量中的作用。
三坐标测量机;空间误差;精密测量;二维激光干涉仪;四象限光电探测器
西安理工大学
硕士
测试计量技术及仪器
刘君
2006
中文
TH721
52
2013-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）