基于计算机视觉的引线键合机定位平台的运动学标定
随着半导体制造技术不断向微细化、高速、高密度方向发展，开发高精度、高效率、高可靠性的引线键合机是对封装设备制造业刻不容缓的要求。限制引线键合机定位在高速加工过程中正常工作的一个主要因素是其定位平台的低精度，而影响其精度的一个重要因素是由于装配过程中所引起的各种几何误差。计算机视觉技术近年来快速发展，研究成果丰硕，高性能的相机成为一种新的测量工具解决了诸多工业领域精确测量的问题。本文提出运用运动学标定的原理，基于计算机视觉技术的测量方法，通过辨识模型的几何参数补偿由其引起的误差，从而提高引线键合机定位平台的精度。本文分析了定位平台的主要误差源；利用计算机视觉技术进行了相机的标定，设计实验分析评估了其精度，并且利用该相机完成测量任务；针对此引线键合机设计了标定实验分步对该引线键合机定位平台的相关参数进行辨识；利用辨识结果通过修正系统输入对系统误差进行了补偿，设计实验并验证了通过误差补偿可以提高系统的精度，从而说明了基于计算机视觉的运动学标定技术应用于该引线键合机的可行性和有效性。
计算机视觉;引线键合机;半导体制造技术;运动学标定
哈尔滨工业大学
硕士
控制科学与工程
王煜
2009
中文
TP751
67
2013-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）