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目录
第一章绪论
1.1氢气与氢传感器
1.1.1 氢气简介
1.1.2 氢传感器
1.2 半导体场发射理论
1.2.1 场发射定义
1.2.2 半导体场发射
1.2.3 场发射定量计算
1.3氧化锌纳米棒研究现状
1.3.1 氧化锌纳米棒的制备
1.3.2氧化锌纳米棒的应用
1.3.3氧化锌纳米棒氢传感研究
1.4气体吸附理论
1.5本论文的研究内容与意义
第二章衬底对氧化锌纳米棒氢传感性能的影响
2.1实验试剂及器材
（1）实验试剂
（2）使用仪器
2.2实验步骤及方法
2.2.1 基底的预处理
2.2.2 氧化锌晶种层的制备
2.2.3 氧化锌纳米棒的制备
2.3不同基底样品的表征与分析
2.3.1 形貌分析
2.3.2 元素分析
2.3.3 XRD分析
2.4不同基底样品的性能测试
2.4.1 场发射测试设备
2.4.2 场发射性能测试
2.4.3氢传感性能测试
2.5本章小结
第三章氧化锌纳米棒缺陷调控与氢传感性能研究
3.1实验试剂及仪器
3.2氧化锌纳米棒中氧缺陷的调控
3.2.1 不同氧缺陷含量样品的制备
3.2.2 不同氧缺陷含量样品的表征
3.3不同氧缺陷含量样品的性能测试
3.3.1 场发射性能测试
3.3.2 氢传感性能
3.4氧化锌纳米棒中锌缺陷调控
3.4.1不同锌缺陷含量样品的制备
3.4.2不同锌缺陷含量样品的表征
3.5 不同锌缺陷浓度样品的性能测试
3.6本章小结
第四章镍掺杂氧化锌纳米棒的氢传感性能研究
4.1镍掺杂样品的制备
4.2镍掺杂样品的表征
4.3镍掺杂样品的性能测试
4.3.1场发射性能测试
4.3.2氢传感性能测试
4.4本章小结
第五章总结与展望
致谢
参考文献
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