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目录
1 绪论
1.1 双差分陀螺仪的研究背景与意义
1.2 研究发展综述
1.2.1 MEMS哥式振动陀螺发展
1.2.2 对环境扰动具有鲁棒性的陀螺仪研究进展
1.2.3 论文的主要研究内容与结构安排
2 双差分陀螺动力学建模
2.1 动力学建模
2.1.1 哥氏效应
2.1.2 哥式振动陀螺广义动力学模型
2.1.3 双差分环的动力学模型
2.2 双差分陀螺结构和敏感原理
2.2.1 双差分陀螺仪基本结构
2.2.2 双差分陀螺工作原理
2.2.1 双差分模态哥氏效应验证
2.3 共模误差抑制技术研究
2.3.1 非线性影响机理与抑制方法
2.3.2 双差分抗冲击检测技术研究
2.4 本章小结
3 MEMS陀螺结构设计和性能评估
3.1 MEMS陀螺结构设计
3.1.1 厚度与模态分布的关系
3.1.2 环参数优化
3.1.3 辐条参数优化
3.2 能量耗散机理研究
3.2.1 热弹性阻尼计算
3.2.2 锚点阻尼计算
3.2.3 稀薄气体下的多环空气阻尼计算
3.3 理论性能评估
3.3.1 理论品质因数计算
3.3.2 等效质量与哥式耦合系数
3.3.3 机械灵敏度计算
3.3.4 机械热噪声计算
3.3.5 理论性能评估
3.4 本章小结
4 工艺误差分析和补偿方法研究
4.1 加工误差来源分析
4.1.1 厚度不均匀
4.1.2 刻蚀误差
4.1.3 电极间隙误差
4.2 加工误差影响分析
4.2.1 刻蚀间隙误差对模态分布的影响
4.2.2 频率误差修调方法
4.3 本章小结
5 MEMS双差分陀螺加工和测试
5.1 MEMS双差分环式陀螺加工
5.1.1 工艺加工流程设计
5.1.2 基底锚点刻蚀和键合工艺设计
5.1.3 电极工艺设计
5.1.4 敏感结构刻蚀工艺设计
5.2 MEMS双差分环式陀螺测试
5.2.1 测试方案设计
5.2.2 频率及Q值测试
5.3 本章小结
6 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
附录