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目录
变量注释表
1 绪论
1.1 课题来源（Project source）
1.2 课题研究意义（Project research significance）
1.2 国内外研究现状及其分析（Research status and analysis at home and abroad）
1.3 本文主要研究内容（The main research content of this article）
1.4 本章小结（Chapter summary）
2总体方案分析与设计
2.1引言（Introduction）
2.2设计任务分析（Design task analysis）
2.3系统测量原理及模型（System measurement principle and model）
2.4精度分析与设计（Precision analysis and design）
2.5系统总体方案确定（Overall scheme）
2.6 本章小结（Chapter summary）
3结构设计与测试
3.1 引言（Introduction）
3.2 位移传感器选型（Displacement sensor selection）
3.3 光谱共焦传感器标定实验（Spectral confocal sensor calibra tion experiment）
3.4 二维长行程直线导轨设计与误差分析（Design and error analysis of two-dimensional long-travel linear guide）
3.5二维长行程直线导轨标定（Calibration of two-dimensional long-travel linear guide）
3.6 光谱共焦传感器夹具设计（Design of spectral confocal sen sor fixture）
3.7本章小结（Chapter summary）
4控制系统与软件平台设计
4.1引言（Introduction）
4.2 平板平面度扫描路径设计（Flatness scanning path design o f flat panel）
4.3 平面度误差评定算法（Flatness error evaluation algorithm）
4.4软件平台设计（Software platform design）
4.5 本章小结（Chapter summary）
5测试实验及结果分析
5.1 引言（Introduction）
5.2 实验平台搭建（Experimental platform construction）
5.3 平板平面度扫描测量实验（Flatness scanning measurement experiment of flat panel）
5.4 误差来源分析（Error source analysis）
5.5 测量不确定度评定（Measurement uncertainty analysis）
5.6 本章小结（Chapter summary）
6 结论与展望
6.1 结论（Conclusion）
6.2 展望（Outlook）
参考文献
作者简历
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