基于多材料微纳加工技术的三维复杂结构研究
以多材料微纳加工技术为基础，对三维复杂结构的制备技术展开研究。重点研究了基于移动X光刻技术的微针阵列的制备，以及利用多种微纳加工技术制备可用于微流控系统的膜片式多材料压电微泵。 利用移动X光刻工艺制备不同结构的微针阵列。通过两次90°交叉的移动X光刻工艺，在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基板上制备出实心微针阵列；利用对准X光曝光工艺将实心微针阵列制成空心微针阵列。利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）转模工艺，可实现复杂三维结构微针的批量转写，进一步降低微针的制备成本。针对显影条件对PMMA移动X光刻加工的重要性，本文从曝光剂量、显影温度、显影时间等PMMA加工影响因素入手，研究了显影条件对加工深度、表面粗糙度的影响，为基于移动X光光刻工艺的微结构加工提供了重要的参考依据。 最后，利用微纳加工技术中的光刻工艺、刻蚀工艺、键合工艺、减薄工艺和准分子激光加工工艺等，设计并制备了锆钛酸铅-硅（PZT-Si）多材料的膜片式压电微泵。该微泵结构简单，可实现控制微米量级的液体驱动。所涉及的制备技术对其它相关器件的研制也有着重要的参考价值。
微纳加工技术;移动X光光刻工艺;显影条件;微针阵列;压电微泵
上海应用技术大学
硕士
机械电子工程
李以贵
2017
中文
TB30
2021-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）