10.3969/j.issn.1009-0134.2019.12.006
基于模糊自整定PID算法的划片机DD马达位置控制
新一代的晶圆划片机是在日本DISCO划片机的基础上发展出来的,具有精度高,操作简便、可加工晶圆尺寸范围广等优点.在对划片机DD马达的控制过程中,由于种种原因可能会有丢脉冲的现象发生,以及在加工过程中需要更换不同规格、不同重量的工作盘,从而导致DD马达的位置控制不精确.因此需要利用PID算法对PID控制的三个参数进行调节,以控制DD马达的位置输出到达相应的位置.PID算法中的三个参数KP、KI、KD,分别对应着比例、积分和微分控制.利用模糊自整定PID算法对DD马达的输入和输出进行控制,对于丢脉冲的现象和不同规格的工作盘做到系统自适应控制,可以使DD马达的位置输出达到非常高的精度.
划片机DD马达输出控制、PID控制、自整定、模糊算法
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TN305(半导体技术)
2020-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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