10.3969/j.issn.1009-0134.2018.07.020
关于Sputtering工艺在液晶TFT生产中的应用
在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助.
靶材溅射、铟锡氧化物、薄膜晶体管
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TN837.93(无线电设备、电信设备)
2018-08-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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