10.3969/j.issn.1009-0134.2018.04.004
碲锌镉晶片的超精密飞切减薄工艺研究
运用晶体材料的脆塑转变理论,建立了碲锌镉晶体材料生长晶面(111)面上的脆塑转变临界切削深度模型.然后通过碲锌镉典型样件(111)晶面的超精密飞切铣削实验进行了弧形槽结构的检测和分析,获得了碲锌镉晶体材料(111)晶面的脆塑转变临界切削深度数值.并确定了切削单晶碲锌镉材料时的最佳飞切晶向,实现了飞切方向和最小切削厚度值的匹配.最后通过组合夹具的使用,进行了超精密飞切减薄试验,实现了一整套晶体材料的超精密飞切减薄加工工艺.
碲锌镉、超精密飞切、减薄、各向异性、脆塑转变
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TH703(仪器、仪表)
2018-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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