10.3969/j.issn.1009-0134.2017.10.015
Mura检测机在彩色滤光片基板破损检测中的应用研究
彩色滤光片(Color Filter,以下简称CF)作为TFT-LCD面板的关键组件,其生产工艺复杂,制作过程中要经过多种机械设备和机构的传送,经常会发生基板的破损,造成产品良率和产能的损失.目前,面板生产线发现基板破损,大多因传感器或驱动部分异常报警停机被动发现,需进入设备内部清理破片和碎屑,但因破片发生的设备和破片散落区域的随机性,处理破片和恢复生产线所需的时间较长,造成的产能损失大并且清洁范围和位置易受处理人员主观判断的影响易造成批量的品质不良,因此迫切需要研究基板破损的提前自动检测和管控方法.以8.5代CF面板Photo生产线为基础,对CF Mura检测机检测原理进行深入研究,通过大量的破片样本检测值数据寻找合适的检测参数,并追加相应的自动停机功能,将检测CF膜厚均匀性的Mura检测机应用在破片基板的自动检测中,实现了破片裂纹的自动检出和停机.结构复杂设备的单次破片处理所需停机时间由原来的120至230分钟缩短至40分钟,且有效避免了曝光机内部处理破片划伤Mask的风险,减少了碎屑造成的良率损失,取得了良好的经济效益;为国内液晶面板制造业玻璃基板破片检测方面的研究人士提供了一份较为完整的参考.
彩色滤光片、破片检测
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TN873.93(无线电设备、电信设备)
2017-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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