10.3969/j.issn.1009-0134.2016.05.006
基于光栅尺位移传感器的液晶玻璃基板在线厚度测量系统设计
针对原使用的激光三角法玻璃测厚系统的缺陷,分析了目前主流的各类测厚方法后,设计了一种新型的玻璃基板在线测厚系统,该系统采用一对光栅尺式位移传感器,增加外部触发采样功能,提高了采样间隔的精度,并利用SQL Server和C++ Builder开发了上位控制软件,具有数据和曲线存储显示功能。该系统经实践测试,能够在30秒内完成300个采样点的测量,测量精度达±0.002mm,能够消除玻璃基板的翘曲和晃动的影响。完全满足了目前液晶玻璃基板生产的品质保证要求。
位移传感器、玻璃基板、测厚
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TN386.5;TP274.4(半导体技术)
国家科技支撑计划2013BAE03B02-03
2016-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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