10.3969/j.issn.1009-0134.2015.23.33
大口径超精密轮廓仪的设计及精度标定
介绍了自行研制的超精密轮廓仪,其最大测量口径为Φ1250mm,综合测量精度指标为±0.5μm.该轮廓仪采用柱坐标接触式测量方法,通过测量子午线方法实现对光学元件的轮廓度的评定,其精度适用于精磨粗抛阶段的检测.根据子午线理论方程分析了最小二乘原理轮廓度的评定理论,列出满足轮廓仪结构的测量路径,介绍了轮廓仪机械结构、测控和软件流程等相关内容,最后通过标准球对测量仪的综合使用精度进行标定.
轮廓仪、评定模型、测量、精度标定
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TH122
上海市科委科研计划项目:基于堆内构件关键加工过程及轴类零件高效加工过程智能化研究13DZ1101600
2016-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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