10.3969/j.issn.1009-0134.2015.07(下).05
晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化
首先对晶圆传输机器人大臂进行实体建模,采用ANSYS之Mechanical APDL和Workbench对模型进行有预应力的模态分析。然后,针对分析结果进行结构优化,并计算出较好尺寸的新大臂结构。最后,对新的大臂模型进行有预应力的模态分析。结果表明,新结构的WTR大臂性能更加优越,抗震性更好,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输。
晶圆传输机器人大臂、Mechanical APDL、Workbench、模态分析、结构优化
TH122
2015-08-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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