10.3969/j.issn.1009-0134.2014.03.030
三轴联动精密工作台设计与分析
三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构，以压电陶瓷直线电机作为驱动，由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动；以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。研究影响工作台精度的主要原因，通过误差分析与测量建立了误差补偿模型。最终验证证明，通过误差补偿工作台达到了更高的定位精度，实现了平台设计的目标。
精密工作台、压电陶瓷电机、分步对角线测量、误差补偿
TH122
2014-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
105-108,115
