10.3969/j.issn.1009-0134.2013.21.027
测试探针结构的技术发展
随着半导体集成电路的高密度化、高精度化,测试探针技术也快速发展。常用的探针类型包括弹性探针、悬臂式探针和垂直式探针,本文通过对多个典型的探针结构的描述和其优缺点的分析研究测试探针结构的技术发展。
半导体、集成电路、探针、测试
TP273(自动化技术及设备)
2013-12-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
97-100
10.3969/j.issn.1009-0134.2013.21.027
半导体、集成电路、探针、测试
TP273(自动化技术及设备)
2013-12-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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