10.3969/j.issn.1009-0134.2013.08.006
一种等离子体刻蚀机的传片系统设计
为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,本文研发设计了一种等离子体刻蚀机的新型传片系统,该传片系统可一次预装3盘、6盘或更多盘数晶片,并由全自动机械手自动传输,实现了多盘连续自动化刻蚀,提高了生产效率.
等离子体刻蚀机、传片系统、自动化
35
TH122
2013-08-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
15-16
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等离子体刻蚀机、传片系统、自动化
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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