10.3969/j.issn.1009-0134.2012.10(x).05
基于交流调制的光栅干涉条纹信号的细分技术及实现
本文以大行程、高精度衍射光栅位移测量系统为研究对象,提出了一种硬件计数与软件细分相结合的干涉条纹信号处理方法.运用交流调制技术对光栅信号进行处理,提高测量系统抗环境噪声和抗直流偏移能力.使用FPGA对光栅信号进行硬件四细分,在此基础上对信号的交流部分进行滤波、检波处理后用于上位机软件细分,并对该方法引入的误差进行了分析和补偿.最后应用双频干涉测量系统进行了比对实验,其结果表明该方法能实现±0.30μm的精度.
交流调制、干涉条纹、硬件细分、软件细分、补偿
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TH741(仪器、仪表)
2013-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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