10.3969/j.issn.1009-0134.2005.02.010
径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究
结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学分析.
硅片传输机器人、机构、运动学分析
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TP24(自动化技术及设备)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA421230
2005-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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