10.3969/j.issn.1006-1355.2007.06.011
残余应力对RF MEMS开关谐振频率偏移的影响
由沉积工艺产生的残余应力对RF MEMS开关的动态特性有重要影响.利用变量分离法推导出桥模式RF MEMS开关的频率方程组.给出二分法求解频率方程的流程图,并进行实例计算.计算结果表明,残余应力引起的频率偏移随着t/L的减小而增加;残余应力与频率偏移之间呈现出明显的非线性特性.
振动与波、RF MEMS开关、残余应力、频率方程、数值计算
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TH73(仪器、仪表)
上海市教委资助项目06EZ018
2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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