10.3969/j.issn.2095-2783.2022.06.014
电压对原子力显微镜探针振动的影响
在原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的轻敲模式中,针尖-样品相互作用力对探针振动产生干扰,降低测量精度.为探究电压对针尖-样品作用力的影响,通过实验测定不同电压下探针匀速远离硅片表面时的悬臂受力、振幅及相位随探针位移的变化,并利用玻璃和银样品重复同样的实验步骤以探究样品导电性对实验结果的影响.结果表明,探针所带电压增大使得探针受到的静电力增大,导致针尖-样品相互作用力和能量耗散增大,阻碍了探针振动.研究揭示了电压与样品导电性对针尖-样品相互作用力的影响规律与影响机制.
原子力显微镜、针尖-样品相互作用力、电压、静电力、能量耗散
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TH117.1
国家自然科学基金51775462
2022-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
681-685,690
