10.3969/j.issn.2095-2783.2009.08.009
用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用.首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300 nm的Au膜,然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极.用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析.表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形,交流阻抗谱和Raadels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性.
电子束沉积系统、真空蒸镀系统、扫描电子显微镜、循环伏安法、交流阻抗谱
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TN305(半导体技术)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20060698009
2009-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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