大量程光谱共焦位移传感器设计及性能评估
现有的光谱共焦色散物镜存在测量量程小的问题,在工业检测中的应用受到较大的限制.针对这一问题,采用四片球面透镜设计了一种大量程的色散物镜,在500~700 nm波段内,测量量程达到9.962 mm.在大色差的情况下对球差进行了优化,并利用设计的色散物镜搭建了光谱共焦位移测量系统,开展了性能评估实验.实验结果表明,系统实现了 10 mm的测量范围,测量标准差为0.5 μm,平均绝对误差为0.6 μm.另外,对不同材料的样品进行了测量,结果表明,系统对不同材料样品具有一定的适应性.该设计实现了较大的测量范围,可以满足各类复杂对象的工业检测需求.
测量、无损检测、位移传感器、光谱共焦、色散
49
TH741(仪器、仪表)
2022-11-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
56-63