铝高反射镜表面球状微粒散射的单层薄膜调控特性
为了降低金属高反射薄膜表面微粒污染物的光学散射,分析了金属铝膜表面不同厚度的SiO2保护层薄膜上半径为100 nm的球状微粒污染物球心处的电场强度,取电场强度极小值点对应的SiO2薄膜的物理厚度125 nm作为SiO2薄膜的优化厚度,理论计算了当波长为632.8 nm的光束正入射时,镀有优化SiO2保护层的铝膜表面的双向反射分布函数(BRDF).研究结果显示,在-90°～90°散射角内,与不镀保护层相比,优化后膜层表面污染物的散射得到了显著降低,在反射光传输方向上,镀制保护层前后BR×cosθs(BR为双向反射分布函数,θs为散射角)分别为0.00855和0.00048.计算了原始膜系与优化膜系表面污染物的总散射损耗,分别为0.018609和6.09264×10-4,优化膜系使得表面微粒的总散射降低了 96.73％.最后实验镀制了四种薄膜设计,测量了相同污染条件下四种膜系表面的污染物散射情况,证实了优化SiO2 薄膜保护层可降低微粒污染物散射.
薄膜、光学薄膜、光散射、薄膜散射、双向反射分布函数
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O484(固体物理学)
陕西省教育厅重点实验室科研计划项目;陕西省自然科学基础研究计划项目
2022-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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