飞秒激光直写制备LIG/RuO2复合电极
基于聚酰亚胺(polyimide,PI)膜的激光诱导石墨烯(laser-induced graphene,LIG)电极因其制备简单、可扩展性强等优势而逐渐得到了广泛的关注,但较低的能量密度限制了它的进一步应用.为了提升LIG电极的电化学性能,首先研究了激光功率和扫描速度对PI膜碳化效果的影响.在此基础上,在PI膜表面喷涂RuCl3晶体,通过飞秒激光直写技术制备指间距为20μm的LIG/RuO2复合电极,组装了超级电容器,并对电极微纳结构以及元素成分进行了表征分析.在10 mV/s的电压扫描速率下,LIG/RuO2超级电容器的面积容量为4.9 mF/cm2,是LIG超级电容器的4.85倍,同时具有良好的能量密度(在0.1 mA/cm2的电流密度下为0.173μW·h/cm2).研究结果表明,飞秒激光直写技术可以实现LIG/RuO2复合电极的灵活和可扩展制备,在微电子器件以及可穿戴电子设备领域有广阔的应用前景.
激光制造、飞秒激光直写、激光诱导石墨烯、RuO2、超级电容器
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TN249;TB34;TQ127.11;TM53(光电子技术、激光技术)
青年科学基金项目;中国博士后科学基金;黑龙江省博士后面上资助;新昌浙江工业大学科学技术研究院自然开放基金;上海航天科技创新基金
2022-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共9页
146-154
