波片阵列对准误差对激光干涉非线性误差的影响
提出了一种基于四象限探测器和波片阵列的集成式干涉信号探测系统.波片阵列的对准误差是激光干涉测量非线性误差的主要来源之一.首先分析了波片阵列对准误差对测量结果的影响机理,然后利用琼斯矩阵建立了波片阵列对准误差引入的非线性误差模型,并搭建实验系统进行验证和研究.实验结果表明,波片阵列引入的非线性误差会随着对准误差的增大而增大,在-20°～20°范围内,四分之一波片引入的非线性误差在0～13 nm之间,二分之一波片引入的非线性误差在0～2.4 nm之间.研究结果对单频激光干涉测量系统的集成化及非线性误差的分析和消除具有重要的参考价值.
测量、位移测量、激光干涉、波片、琼斯矩阵、非线性误差、纳米测量
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TH741(仪器、仪表)
中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目AKYZD2109
2022-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共9页
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