电子陶瓷基板表面激光孔加工综述
毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用.介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理,如材料烧蚀阈值、光热作用和光化学作用等,讨论了毫秒和纳秒激光加工参数、加工环境等因素对陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直径、深度和锥度等)的影响规律,总结了目前陶瓷基板表面激光孔加工工业化应用面临的问题,并对其未来的发展方向进行了展望.
激光技术、电子陶瓷基板、氧化铝、氮化铝、毫秒激光、纳秒激光、孔
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金;国家重点实验室开放基金
2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共16页
178-193
