环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析
环境温度变化是影响夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一.采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件(CCD)间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响.分析计算得出,环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素,环境温度在21～24℃内每增加1℃,给测量结果带来的误差[均方根(RMS)]约为0.52 nm.通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证,实验结果和仿真分析结果基本一致.
测量、夏克-哈特曼波前传感器、环境温度、测量精度
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TH741(仪器、仪表)
国家科技重大专项2009ZX02206
2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
248-255
