激光对毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源的作用
极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm的极紫外(EUV)光源,可以轻松突破30 nm技术节点而实现大规模工业生产.毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能,具有较高的能量转换效率.毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用,耦合出较大面积的极紫外辐射区,从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率,有利于光刻生产.在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上,探讨了激光对耦合光源所起的作用.实验发现位置耦合对极紫外光源的影响很小,激光等离子体引起的动力耦合成为问题的关键,有待于逐步解决.
激光光学、极紫外光源、毛细管放电、三束等离子体、激光等离子体
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TN249;O539(光电子技术、激光技术)
湖北省教育厅科研重点项目D20102002、湖北汽车工业学院博士科研启动基金BK200919
2015-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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