准分子激光微透镜整形均束装置
报道了248 nm准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果.实际采集并拍摄了248 nm准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源.通过分析空间光能量分布特征,设计并加工出一套适用于248 nm准分子激光的微透镜整形均束装置,且理论模拟和实际测试结果相吻合.248 nm准分子激光通过该光学系统整形均束后,可以在工作平面上得到一个约18 mm×l8 mm的正方形光斑,光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2％以内,平顶因子为0.90,光能量通过率为85％左右,解决了248 nm准分子激光光斑形状不规则,且光斑能量分布不均匀的问题.该装置的研制成功,对于优质、高效地开展准分子激光微加工提供了具有自主知识产权的技术支撑.
激光光学、准分子激光、均束装置、微透镜、能量分布、整形
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TN23(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金;北京市自然科学基金重点项目B类
2015-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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