照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析
通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键.采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算,分析了照明物镜数值孔径(N A)对微孔衍射波前质量的影响,确定了满足SHWS高精度标定所需微孔直径和照明物镜NA的大小.分析计算得出,采用直径为200 nm的微孔及NA为0.6～0.75的照明物镜时,衍射波前均方根(RMS)偏差为3.50×10-3λ,强度均匀性为0.10,微孔透射率约为0.15,满足SHWS进行纳米精度波像差检测对参考球面波质量的要求.
测量、时域有限差分法、数值孔径、微孔衍射、波前质量
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O436(光学)
国家科技重大专项2009ZX02206
2015-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
222-229
