调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响
针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Zernike多项式系数之间的关系.计算结果表明:调节时通过降低调节力的大小,可以控制面形劣化程度.采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后,在50 N的驱动力偏心调节时,透镜上表面面形PV值和RMS值分别为2.704 nm和0.528 nm,透镜下表面面形PV值和RMS值分别为2.984 nm和0.571 nm.透镜面形的PV值、RMS值及Fringe Zernike多项式系数随调节力线性变化,但是调节力不会改变各种像差的性质,它引入的透镜像差主要为像散.
光学器件、深紫外光刻、投影物镜、像差补偿、偏心调节机构、调节力、面形
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TH74(仪器、仪表)
2014-08-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
285-292
