一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法.用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列.实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀.为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径.
光学器件、微光学元件、凹形微透镜阵列、数字灰阶无掩模光刻、模型复制技术、聚二甲基硅氧烷
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O439(光学)
国家自然科学基金61261026;航天科技创新基金CASC201105
2014-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
205-209
