斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究
研制了斐索式红外干涉仪,口径为120mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量.干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难.采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定.使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差.检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ,测量重复性RMS优于0.002λ.
测量、红外干涉仪、双视场、非球面、光栅尺
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TN21(光电子技术、激光技术)
2012-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
195-200
