TFT-LCD检测中基于激光三角法的显微镜离焦快速在线检测及补偿
光学成像检测设备的快速自动对焦是基于机器视觉快速缺陷检测的关键,为了解决检测过程中不同倍数物镜景深(0.5～91μm)跨度大以及被检测物体振动给快速对焦造成的影响等问题,提出了基于激光三角法的显微镜离焦在线检测及补偿方法.该方法利用激光三角法进行离焦量和离焦方向的快速探测,使用由行程100μm的压电陶瓷和行程25 mm直流电机构成的宏微双驱动结构协同控制完成大范围对焦任务.实验结果表明,构建的宏微结构对焦方式可以在0.4 s内实现高倍物镜±0.5/μm景深至低倍物镜±91μm景深大范围的快速自动对焦,并实现被检测物体土3μm振动范围的快速自动跟随对焦.该方法满足了新一代薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)工业检测装备对自动化对焦范围、速度和精度的要求,同时可应用在平板显示器(FPD)检测、线路板检测、生物医学和自动机器装配等领域.
测量、光学检测、激光三角法、宏微双驱动、自动调焦、离焦检测
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TN247(光电子技术、激光技术)
广东省教育部产学研;广东省教育部产学研;广东省教育部产学研
2011-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
214-219
