斜角入射沉积TiO2薄膜的光学特性和表面粗糙度
采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜,研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填充密度和表面粗糙度,并比较了不同膜层厚度下薄膜表面粗糙度与入射沉积角之间的关系.研究结果表明,随着入射沉积角的增加,TiO2薄膜的透射率增加,透射峰值向短波移动,薄膜的填充密度从入射沉积角O°时的0.801降低到入射沉积角为75°时的0.341;薄膜的表面粗糙度随着入射沉积角的增加而增加,当入射沉积角为75°时,薄膜的表面粗糙度略高于基底的表面粗糙度.在沉积入射角不变时,随着膜层厚度的增加,膜层的表面粗糙度降低.
薄膜、二氧化钛薄膜、入射沉积角、光学特性、表面粗糙度、填充密度
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O484.4+1(固体物理学)
陕西省教育厅专项科研计划项目2010JK586
2011-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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