10.3321/j.issn:0258-7025.2008.11.029
基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制备
为了方便、快速、低成本地检测样品,提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法.利用248 nm的KrF准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工,构建芯片结构,并嵌入腐蚀过的直径35μm的单模光纤,从而形成内嵌光纤型芯片.探讨了准分子激光加工参数以及嵌入光纤的方法.结果表明,用准分子激光加工芯片,可控性好、简便可靠、加工过程可实现无人化.内嵌光纤实现了光纤的相互对准以及光纤对流道中央的对准,可以灵敏地获取样品的光学信号.
激光技术、准分子激光微加工、微流控芯片、光纤、聚甲基丙烯酸甲酯
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TG665
国家自然科学基金重点项目90406023;中国博士后基金20060400904;江苏省博士后科研计划0601013B资助课题
2009-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
1821-1824
