10.3321/j.issn:0258-7025.2007.10.010
高精度微结构聚合物光栅的复制技术
光栅复制是降低光栅制造成本,提高产量的一条有效途径.研究了利用紫外压印技术复制微结构光栅的方法.使用玻璃基底矩形浮雕结构的微结构光栅作为母光栅,给出了利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作光栅模具和在光敏聚合物材料上复制微结构光栅的详细过程.经过优化工艺条件,成功地复制了一系列不同周期和开口比的微结构光栅,测试了复制光栅和母光栅的衍射图像和0级与±1级的衍射强度,结果表明,复制光栅和母光栅的衍射图像与光强分布基本一致.
衍射与光栅、微结构光栅、光栅复制、压印技术
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O436.1;TN205(光学)
上海市科委资助项目05DZ22004;0518;0652NM005;06SP07003;国家重点基础研究发展计划973计划2006CB80600
2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
1363-1366
