10.3321/j.issn:0258-7025.2005.12.021
飞秒激光刻划铌酸锂实现极化反转的实验研究
采用飞秒激光加工制作周期性极化铌酸锂(PPLN).实验中利用飞秒激光加工机的高精密加工的特性,在晶体+Z面刻划出周期性条纹,条纹周期以及深宽比可调,并加均匀的高压电场,通过改变晶体表面形状来影响晶体内部电场分布.实验观察到沿飞秒激光刻划方向有明显的极化现象,以及加工参量对极化反转的影响.该方案比纳秒激光刻划精度高,影响区小,可以做到更高深宽比且保持刻槽规则的形状.直接用激光刻划,无需掩模和光刻工艺,具有较大的灵活性,作为改进制作周期性极化铌酸锂的可选方案,更适合做各种新型器件.
非线性光学、周期极化铌酸锂、飞秒激光微加工、极化反转
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O437(光学)
2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
1688-1692
